电子级铪基材料纯化设备:电子级稀有金属氯化物纯度通常不低于5N,主要限制各种碱性金属(Na、K、Ca、Al)和过渡金属(Fe、Cu、Zn)元素和P、S等非金属元素的含量,这些杂质元素会严重影响半导体制备,造成严重的不良率。杂质对四氯化铪的产品质量影响很大,因此必须采用提纯方法以去除这些杂质。
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2026-10-27
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